引晶功率是多少,功率场效应晶体管

引晶功率是多少,功率场效应晶体管

并将加热功率适当升高(熔料功率的90%左右)。②将埚位降到原引晶埚位以下10-20 mm,这一点非常重要，不然在回熔过程中液面逐渐升高会淹没热屏。③逐渐将单晶棒降到液面下回熔，、单晶棒若无可用长度，晶体处理同晶变单晶一致，、单晶棒若无可用长度，晶体处理同晶变单晶一致，结晶全熔后，调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始结晶全熔后，调节

这种情况有两种可能：一是实际加热功率偏高，应适当降低功率，隔几分钟再下种；二是由于熔硅和加热器保温系统热惰性引起的，说明硅熔完后下种过急，温度没有稳定，应熔硅的整个过程都要细致观察，是否挂边，搭桥、蛙跳等异常现象，当大部分固体硅熔化、液面余一块直径约50毫米硅块时，降温到引晶温度，升坩埚至工艺规定的引晶温度，升坩埚至工艺规定的引

借助这些现象，在操作时为了能更好更快的找到合适引晶的温度，可以对照上一炉的欧陆显示并参照上一炉引晶功率引晶。三引晶引晶缓慢降籽晶到液面上方20mm左右，预热5min再降籽配置加热器B,坩埚内装填50kg多晶填料，熔化功率75kw,引晶功率58kw,坩埚顺时针旋转6rpm,单晶体逆时针旋转12rpm,炉室压力20托，以1.2mm/min拉制直径154-156mm、长度1050mm的硅单晶b。

↓。υ。↓ 2.4.2、根据原料状况不同，在高温有时需要保持化料功率15 分钟左右，挥发杂质。2.4.3、在清炉没动保温筒(中)的情况下，引晶的合适功率欧陆显示值可参考上炉的值。六)引晶及单晶炉台运行时，引晶功率一直是行业难点、痛点，需要有经验的技术工人进行找引晶功率，即使有经验的技术工人找的引晶功率也不是100%的准确率，能做到85%以上已经

∪０∪ 待坩埚中还有3-5kg硅料时降功率将至引晶功率左右，用坩埚余温将其熔化坩埚转速~2r/min,硅全部熔化完后，降低功率到熔接温度，设定坩埚转速5-8r/min 5.1直拉法制1、提盖子后，将功率升高至引晶功率以上3—5kw,将埚转降至2转，埚位升到引晶埚位，将籽晶按照工艺要求降至离液面3—5mm对籽晶进行预热。2、等待几分钟后，看热场测量值与本炉引