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单晶炉 |
单晶炉内部件名称,单晶炉是做什么的
零部件及配件执行器类型(通道位置) 直通式作用对象单晶炉规格DN40 可售卖地全国材质不锈钢型号GUQ-40 产品名称:单晶炉气动高真空球阀产品型号:GUQ-40 作用对象:单提拉头:主要由安装盘减速机籽晶腔划线环电机磁流体籽晶称重头软波纹管等其他部件组成副室:主要是副室筒以及上下法兰组成炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗
单晶炉,全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶硅炉型号有两种命名方式,一种为投一、单晶炉的构成编辑提拉头:主要由安装盘减速机籽晶腔划线环电机磁流体籽晶称重头软波纹管等其他部件组成1.副室:主要是副室筒以及上下法兰组成2.炉盖:副室连接法兰,翻板阀
˙ω˙ 电机磁流体籽晶称重头软波纹管等其他部件组成副室:主要是副室筒以及上下法兰组成炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗抽真空管道组成=单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢制造。所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪
(2) 主炉体。单晶炉的主炉体又称为主炉室,
被牢牢地固定在机架上。主炉体是生长单晶硅的加热室是单晶炉的核心部件,主要由炉体、加热器和保温材料组成。炉体是单晶炉承受外部温度变化和内部高温作用的主要承载部件,由石墨、石英和陶瓷等耐高温材料制成。加热器则是
3.籽晶旋转提升机构>8.控制系统>4.副炉室旋转机构10.氩气系统5.坩埚提升旋转机构环光概述单晶炉全称:全自动直拉单晶生长炉(单指本公司现有设备)现有型单晶炉简介:单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉构成:提拉头:主要由
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