半导体bpsg是什么意思,半导体epi是什么意思

半导体bpsg是什么意思,半导体epi是什么意思

BPSG:为硼磷硅玻璃，含有B,P元素的SiO2,加入B,P可以降低Flow温度，并且P吸附一些杂质离子，流动性比较好，作为ILD的平坦化介质。20、BreakdownVoltage崩溃电压左图是一个典型PN二极管BPSG和PSG 硼磷硅玻璃(boro-phospho-silicate-glass,BPSG):这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法(SiH4+O2+PH3+B2H6,400oC~450oC)来制备。BPSG与PSG(磷硅玻璃

硼磷矽玻璃本论文利用硼磷矽玻璃(BPSG)在800℃以上高温为半黏滞状态之特性，在半导体基板上形成二维皱曲量子井层。在(001)矽晶圆…ntur.lib.ntu.edu.tw|基于65个网页3. 含双极结型晶体管又称为半导体三极管，它是通过一定的工艺将两个PN结结合在一起的器件，有PNP和NPN两种组合结构。BPSG(boron-phosphor-silicate-glass) 硼磷硅玻

在半导体工业中，作为绝缘层材料通常称什么？​答：介电质(dielectric)。薄膜区机台主要的功能为何？答：沉积介电质层及金属层。何谓cvd(chemical vapor dep.)?1.本发明属于半导体膜的生产工艺的技术领域，具体是指一种半导体bpsg膜的生长方法。背景技术：2.半导体bpsg(硼磷硅玻璃boro-phospho-silicate glass)膜的生长设备一般是p5000,一种

＞△＜ 首先，BPSG膨胀系数是用于半导体工艺中的一种复合材料。其中，硅氧化物主要负责着支撑和隔电的作用，而磷酸三钠则负责着改变材料的膨胀系数。具体来说，当BPSG膨胀系数与其它材料BPSG 硼磷硅玻璃(boro-phospho-silicate-glass,BPSG): 这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法(SiH4 O2 PH3 B2H6,400oC~450oC)来制备。BPSG与PSG(磷硅玻璃)一样，在高温下的流

硼磷硅玻璃(boro-phospho-silicate-glass,BPSG):这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法(SiH4+O2+PH3+B2H6,400oC~450oC)来制备。BPSG 查看全文【芯片】我在中芯国际的往事&中芯什么是PSG,BPSG,FSG?PSG:Phosphosilicate Glass,磷酸盐玻璃，是一种硅和磷组成的二元玻璃。在半导体制程中，PSG通常用作缓冲层或流平层，由于磷的引入，PSG的流动