晶盛单晶炉热场及构造,石墨热场22寸价格

晶盛单晶炉前身 2023-10-13 20:59 482 墨鱼

晶盛单晶炉前身

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24安装保温盖碳毡25安装上保温盖及顶环26安装导流筒27安装连接底部通气管道，弯管，直管。28安装完成，合炉筒抽空。以上是晶盛单晶炉热场安装全过程，随着工艺的改进，有的步(4)炉子真空要求空炉真空度：15mTorr;空炉泄漏率：30mTorr/hr;带热场泄漏率：50mTorr/hr。热场已经煅烧完全)日常维护(1)坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩

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