ebsd能测出成分吗,ebsd是什么

ebsd能测出成分吗,ebsd是什么

EBSD将显微组织和晶体学分析相结合，可用来测量晶体取向( crystal orientation)、晶界取向差( grain boundary misorientations)、鉴别物相、以及局部晶体完整性一、EBSD技术的发展过程EBSD的发展大致经历了以下五个阶段：第一阶段是20世纪70年代，Venables等在扫描电镜下观察到背散射电子衍射菊池带，即所谓的高脚菊池带。这个发现开创了新的取向结构分析技

EBSD的具体分析功能：一种物相鉴定的新方法；标准的微区织构分析方法；具有大样品区域统计的特点；与能谱结合，可集成分析显微形貌、成分和取向。应用实例(1)物相EBSD的具体功能及样品制备背散射电子衍射装置(EBSD)是扫描电子显微镜(SEM)的附件之一，它能为很多测试提供完整的分析数据，如晶间取向、晶界类型、再结晶晶粒、

EBSD最有用的就是区分化学成分相似的相，如，在扫描电子显微镜中很难在能谱成分分析的基础上区别某元素的氧化物或碳化物或氮化物，但是，这些相的晶体学关系经常能毫无疑问地区分开。M7有研究者通过能谱测定成分，但差异小于3%不足以区分这三种第二相，但它们的晶体结构明显不同，因此可以借助EBSD通过结构差异来区分它们。通过对菊池花样进行细致

现代EBSD系统和能谱EDX探头可同时安装在SEM上，这样，在快速得到样品取向信息的同时，可以进行成分分析。EBSD技术特点EBSD是可以做快速而准确的晶体取向测量的强有力的分析工具。在SEM中，其精确度EBSD即电子背散射衍射。EBSD的原理始于20世纪50年代，技术问世于80年代。EBSD是扫描电子显微镜(SEM)的一个标准分析附件，但大大拓宽了扫描电子显微镜进行微观分析

⊙﹏⊙ EDS指能谱仪，是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。XRD是X射线衍射仪，是用于物相分析的检测设备。EBSD 全称电子背散射衍射技术，是用由于X-ray 能准确测定晶面间距，故X-ray 进行物相鉴定不需要事先知道物相成分；而EBSD 和TEM 在测定晶面间距方面误差较大，必需先测定出待鉴定相成分以缩小候选范围。尽管如此，3