薄膜压应力张应力,压应力为正还是拉应力为正

薄膜应力与厚度的关系 2023-10-18 23:04 610 墨鱼

薄膜应力与厚度的关系

薄膜压应力张应力,压应力为正还是拉应力为正

薄膜的力学性质汇总§7-1薄膜的力学性质薄膜的力学性质与其结构密切相关。薄膜附着性质—取决于薄膜成长的初始阶段的应力性质力学弹性性质性取决于生长阶段及其结构类型质机械强度1、薄膜介绍薄膜应力的表现形式，其次简介应力的常规测量方式，然后举例说明已知薄膜的应力计算方法。2021-09-03 10:15:181 薄膜的应力表现形式根据薄膜材料和工艺的

由于张应力是膜裂现象的诱因，为了避免此现象的出现，通常情况下，将薄膜应力控制在一定的压应力范围内。3 通过镀膜工艺调节薄膜应力的大小为了调节应力的大小，主要在于如何调节内应力一般用。表示，其单位为N/m2。用真空蒸发、溅射、气相生长等方法制作的薄膜都有内应力，内应力*时可达(10)9 N/m2,过大的内应力会使薄膜开裂或起皱脱落，使薄膜元器件失效

薄膜应力是薄膜生产、制备中的一种普遍现象，几乎所有的薄膜都处于一定的应力状态.薄膜应力是影响光学元器件甚至整个光学系统性能及可靠性的重要因素，过大的张应力或压应力都淀积薄膜中的应力有两种：压应力和张应力(也称拉应力)。薄膜在压应力状态能通过自身的伸展减缓应力，引起衬底向上弯曲；拉应力正好相反，通过自身收缩减缓应力，引

薄膜应力在作用方向上有张应力和压应力之分。若薄膜具有沿膜面收缩的趋势则基体对薄膜产生张应力，反之，薄膜沿膜面的膨胀趋势造成压应力[1-2]。应该指出，薄膜和基体间附着力一、两者的含义不同：1、压应力的含义：压应力就是指抵抗物体有压缩趋势的应力。一个圆柱体两端受压，那么沿着它轴

薄膜应力按作用方向的不同，被划分为负值的压应力和正值的张应力，当薄膜相对于基底膨胀时，则处于压应力状态，而当薄膜相对于基底收缩时，则处于张应力状态。薄膜薄膜应力在作用方向上有张应力和压应力之分。若薄膜具有沿膜面收缩的趋势则基体对薄膜产生张应力，反之，薄膜沿膜面的膨胀趋势造成压应力。1、一次应力为平衡

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