薄膜的张应力和压应力,薄膜应力形成的原因

薄膜应力计算方法 2023-10-18 20:37 730 墨鱼

薄膜应力计算方法

薄膜的张应力和压应力,薄膜应力形成的原因

内应力可分为张应力和压应力两大类。截面的一侧受到来自另一侧的拉伸方向的力时，称为张应力；而受到推压方向的力时，称为压应力。过大的张应力使薄膜开裂；过大的压应力使薄膜起1　薄膜应力研究的重要性薄膜应力在薄膜应用中是一个不容忽视的问题。它的存在不仅会直接导致薄膜的色裂、脱落，使薄膜损失，而且会作用于基体，使基体发生形变，从而使通过薄膜

压应力和张应力有2点不同：一、两者的含义不同：1、压应力的含义：压应力就是指抵抗物体有压缩趋势的应力。一个圆柱张应力和压应力是力学中常见的两种应力类型。张应力是指物体受到拉伸作用时的应力，也称为拉应力。当物体受到外力拉伸时，物体内部会产生一种沿着受力方向的内应力，这种内应力

薄膜应力在作用方向上有张应力和压应力之分。若薄膜具有沿膜面收缩的趋势则基体对薄膜产生张应力，反之，薄膜沿膜面的膨胀趋势造成压应力。1、一次应力为平衡由于张应力是膜裂现象的诱因，为了避免此现象的出现，通常情况下，将薄膜应力控制在一定的压应力范围内。3 通过镀膜工艺调节薄膜应力的大小为了调节应力的大小，主要在于如何调节

淀积薄膜中的应力有两种：压应力和张应力(也称拉应力)。薄膜在压应力状态能通过自身的伸展减缓应力，引起衬底向上弯曲；拉应力正好相反，通过自身收缩减缓应力，引把上述数值代入Stoney公式，可算得薄膜应力为-128MPa,呈现明显的压应力。已知此薄膜应力，再镀其他基板时，就可以估算出基板面形的形变量。4 总结薄膜应力是日

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