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晶圆探针台测试原理 |
12000探针台的主要特点
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型号:CASCADE Summit 12000B-M 购买日期:2017-9-15 放置地点:化学楼B117室管理员:张盼科简介:8'直流探针台XY方向:移动范围203*203 mm 分辨率1um 重复精度2um 移动速度50 mm/主要技术指标:-60℃~200℃,±1μm分辨率,〉120dB光强衰减,8英寸探针台主要功能:芯片高低温测试同类品牌同类仪器推荐高低温真空探针台品牌:谱量光电探针台表面综合分析测试探针台
这时可以利用探针台提供的编程接口,设计一个自动测试软件,探针台可以根据晶圆和集成电路单元的尺寸特点,自动遍历测试晶圆上的所有集成电路单元,并记录测试结果,大大了提高测试适用于小型和大型多站点探针卡的完整解决方案可在宽温度范围内提供稳定和可重复的测量快速、安全和轻松的晶圆接触快速设置和测试数据收集多种温度下的无人值守测试增强型光学可视化、快速设
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