拉晶引晶功率如何确定,拉晶工艺步骤

拉晶引晶功率如何确定,拉晶工艺步骤

拉晶工艺及操作规程陕西西京电子科技有限公司一拉晶工艺流程图配料配料煅烧煅烧拆清炉拆清炉装料装料抽真空抽真空充氩气充氩气化料化料引晶引晶缩颈缩颈放肩放肩转肩转肩等径等径1.4.1、操作者必须在炉前密切观察成晶液面状况，并且确定合适的功率。1.4.2、操作者应保证籽晶与熔体接触充分，合适的引晶温度特征为：籽晶和熔硅接触后，籽晶周围逐渐出现光圈，最后光圈变圆。1.4

一、拉晶工艺流程图检验晶棒配料库房煅烧拆、清炉装料抽真空停炉收尾等径转肩精选PPT 充氩气化料引晶放肩缩颈2 说明：a)单晶制造工艺流程为方块标注环形部拉B段的方法与第一段开始一样，根据上段引晶欧陆功率值，确定好引晶埚位和欧陆功率值。与第一段相比注意以下几点：a)引晶、放大、转肩过程基本一致，转肩后等径起始拉速应根据第一段拉速设定。b)

3)加热器功率适当升高至引晶功率以上5-10kw。4)将坩埚下降20 19、30mm,使晶体脱离液面。5)冷却流程：晶体尺寸冷却流程拉速设定保持时间6吋1、拉速3.0mm/min30min2、拉速4.5mm/当料熔化完时，应调整埚位到引晶埚位，一般目测熔硅液面与导流筒下沿距离10～20mm为宜(可参考前几炉埚位参数),加热功率到引晶功率(参照加料量以及前几炉数据确定)

38.步骤s2,在熔料阶段，将主加热器的加热功率增加至第一预设值，将副加热器的加热功率增加至第二预设值。39.直拉法拉晶工艺的主要过程为：加料、熔料、调温、引操作者必须在引晶的前50mm内判断出目前的熔体温度是否适合引出在要求的拉速范围内的理想直径的引晶，并做相应的温度调整。一个优秀的拉晶工，应该具有这样一种能力：根据自己在

˙＾˙ 对应的引晶功率计算模型；将单晶硅实时生产过程中的实时工况特征向量输入到引晶功率计算模型进行预测，以得到实时引晶功率，由此，基于单晶硅生产过程中的历史数据样本建立的引晶通过引晶功率计算模型，确定本次引晶功率；其中，所述引晶功率计算模型为：本次引晶功率=所述上次引晶功率+(所述上次平均引晶拉速-所述引晶标准拉速)x所述引晶拉